正高职称教师
 

程洁-教授

发布日期:2020/09/23 10:30:27


程洁,19901月生,中共党员,教授/博士生导师

通讯地址:北京市海淀区学院路丁11号中国矿业大学(北京)机电楼109

电子邮件:jiecheng@cumtb.edu.cn

主要研究方向:电子制造摩擦学;化学机械抛光(CMP)技术;腐蚀磨损;等

教育背景

2011.09-2016.06 清华大学,机械工程系工学博士

2015.03-2015.08 瑞典皇家理工化学系联合培养

2007.09-2011.06 山东大学机械工程学院工学学士

工作履历

2020.07至今 中国矿业大学(北京),机电与信息工程学院,教授

2019.10-2020.06 北京理工大学,机械与车辆学院,助理教授/副研究员

2018.06-2019.09 瑞典皇家理工,表面与腐蚀科学研究所,访问学者

2016.09 -2019.09  清华大学,摩擦学国家重点实验室,博士后

教学工作

公差与技术测量;机械工程学科进展

主要科研项目

1.高端装备界面科学与技术全国重点实验室开放基金,新型钴互连的无籽晶电镀( ECP )及其化学机械抛光( CMP )的基础研究,2022/01-2024/12,项目负责人

2.中国科协青年人才托举工程项目,2022/01-2024/12,项目负责人

3.北京市自然科学基金项目,集成电路使用局部钴互连技术的化学机械抛光(CMP)机理研究,2022/01-2024/12,项目负责人

4.国家自然科学基金面上项目,集成电路新型钌金属栅的化学机械抛光机理研究,2021/01-2024/12,项目负责人

5.国家自然科学基金青年项目,集成电路亚14nm节点FinFET的化学机械抛光基础研究,2018/01-2020/12,项目负责人

6.博士后科学基金特别资助,柔性纳米磨粒的制备及在集成电路化学机械抛光中的应用,2018/06-2019/09,项目负责人

7.博士后科学基金面上项目,稀土元素掺杂氧化铈磨粒在FinFET化学机械抛光中的应用,2017/11-2019/09,项目负责人

奖励及荣誉

2022 第七届中国科协“青年人才托举工程”入选者

2018青年工程师奖(Young Engineer Award),2018中国国际半导体技术大会,中国上海

2016 最佳学生奖(Best Student Award),2016中国国际半导体技术大会,中国上海

2016 优秀博士研究成果(Recognizing Outstanding Ph.D. Research),德国Springer出版社

2016 清华大学优秀博士学位论文

2014 青年学者奖(Young Researcher Award),2014国际化学机械抛光/平坦化大会,日本神户

学术兼职

2022-2023 Surface and Coatings TechnologySCI期刊,青年编委

2022-2024 中国腐蚀与防护学会磨蚀与防护分会 副秘书长兼常委

2021- 2024中国机械工程学会摩擦学分会 委员

2021- 2023中国机械工程学会摩擦学分会青年论坛组 委员

学术成果

Corrosion Science等业内国际顶级期刊上发表SCI收录的期刊论文30余篇,谷歌学术引用300余次,授权国家发明专利1项,出版英文独著1部。以下是部分代表性著作:

1. Jie Cheng, Sulin Chen, Fan Zhang, Bin Shen, Xinchun Lu and Jinshan Pan. Corrosion- and Wear-Resistant Composite Film of Graphene and Mussel Adhesive Proteins on Carbon Steel, Corrosion Science 164 (2020), 108351. (SCI期刊论文)

2. Jie Cheng, Shuo Huang, Yang Li, Tongqing Wang, Lile Xie, and Xinchun Lu. RE (La, Nd and Yb) doped CeO2 Abrasive Particles for Chemical Mechanical Polishing of Dielectric Materials: Experimental and Computational Analysis, Applied Surface Science 506 (2020), 144668. (SCI期刊论文)

3. Jie Cheng, Jinshan Pan, Tongqing Wang, Xinchun Lu. Micro-galvanic Corrosion of Cu/Ru Couple in Potassium Periodate (KIO4) Solution, Corrosion Science 137 (2018), 184-193. (SCI期刊论文)

4. Jie Cheng, Tongqing Wang, Zhimin Chai, Xinchun Lu. Tribocorrosion Study of Copper During Chemical Mechanical Polishing in Potassium Periodate-Based Slurry, Tribology Letters 50 (2015), 177-184. (SCI期刊论文)

5. Jie Cheng. Research on Chemical Mechanical Polishing Mechanism of Novel Diffusion Barrier Ru for Cu Interconnect, Springer, 2018 (英文专著)